316L-VV 化学成分符合 SEMI F20规定。化学成分如下表
| C | Si | Mn | P | S | Cr | Ni | Mo | Cu | Nb |
| ≤0.03 | ≤1.00 | ≤1.50 | ≤0.030 | ≤0.010 | 16.00~18.00 | 10.0~15.0 | 2.00~3.00 | ≤0.30 | ≤0.05 |
| Al | Ca | Ti | Se | N [PPM] | H [PPM] | O [PPM] | Fe | ||
| ≤0.01 | ≤0.02 | ≤0.02 | ≤0.02 | ≤150 | ≤2 | ≤15 | 余量 |
316L-VV
• 产品特点
属022Cr17Ni14Mo2（316L）奥氏体不锈钢的超高纯度（UHP）等级钢。极低的杂质含量，极低的气体含量，具有最佳的抗腐蚀性能和抗污染能力。
• 产品应用
用于半导体制造设施中先进化学分配系统的组件。如：薄膜沉积设备、蚀刻设备、化学机械抛光设备等。
• 制造特色
316L-VV采用真空感应+真空自耗双真空工艺冶炼以及采用杂质元素含量低的金属料和纯铁，保证了钢具有高的纯度。
• 组元牌号和复合型式
• 化学成分 %
• 国外对应牌号
• 磁性能
• 软磁性能
• 热处理制度
• 膨胀系数
• 热敏性能
• 力学性能
316L-VV 典型机械性能指标
| 状态 | 抗拉强度 Rm MPa | 屈服强度 Rp0.2 MPa | 延伸率 A % | 减面率 ψ % | HB |
| 固溶标准值 | ≥485 | ≥170 | ≥40 | ≥60 | - |
| 316L-VV 固溶 | 490 | 224 | 62 | 88 | 125 |
| 316L-VV 冷拔 | 740 | 586 | 28 | 77 | 238 |
• 物理特性
| 密度 g/cm³ | 弹性模量 E MPa （×10⁴） | 电阻率 ρ/uΩ·m | 膨胀系数 α/(10⁻⁶/℃) | 导热率 λ/[W/(m·℃)] | ||
| 20～100℃ | 20～300℃ | 100℃ | 500℃ | |||
| 7.98 | 19.9 | 0.74 | 16.0 | 17.5 | 15.0 | 21.0 |
• 供货形式
| 品 种 | 规 格 mm | 状 态 | 卷重 / 长度 |
| 冷轧钢带 | 0.03~2.5X1.5~600 | 软态、1/4H、H | ≤2500 Kg |
| 冷拉钢丝 | Ф0.1～Ф12 | 各种状态 | ≤500 Kg |
| 磨 光 棒 | Ф2.0～Ф18 | 各种状态 | 1500～6000 m |
| 车 光 棒 | Ф8.0～Ф250 | 各种状态 | 1500～6000 m |
| 热轧（锻）棒材 | Ф8.0～Ф350 □8.0～□350 扁8.0～扁350 | 热轧、热锻 | 1500～6000 m |
所属分类：
超纯净不锈钢
关键词：
超纯净不锈钢
超纯净316L
316LVV
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